การสร้างไนโตรเจนแบบไครโอเจนิก{0}}ระดับเซมิคอนดักเตอร์
ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ระดับสูง- ติดตามสิ่งเจือปนในสภาพแวดล้อมของกระบวนการ-H₂O, O₂, CO₂ และ THC- แปลโดยตรงเป็นข้อบกพร่องของเวเฟอร์และการสูญเสียผลผลิต การสร้างไนโตรเจนในไซต์งานแบบเดิม-มักจะต้องต่อสู้กับความผันผวนของความบริสุทธิ์และการใช้พลังงานที่สูงขึ้น ในขณะที่การจัดหาไนโตรเจนเหลวเผชิญกับความไม่แน่นอนของห่วงโซ่อุปทานและต้นทุนด้านลอจิสติกส์ที่สูงขึ้น การสร้างไนโตรเจนไนโตรเจนเกรดเซมิคอนดักเตอร์-จัดการกับความท้าทายเหล่านี้ผ่านการกลั่นด้วยไครโอเจนิกส์ โดยให้ไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง-โดยมีปริมาณออกซิเจนต่ำกว่า 1 ppm อย่างต่อเนื่องจากการลื่นไถลเพียงครั้งเดียว ขณะเดียวกันก็รักษาการใช้พลังงานไว้ที่-ระดับชั้นนำของอุตสาหกรรม มันได้กลายเป็นแหล่งไนโตรเจนมาตรฐานสำหรับโรงงานขนาด 12 นิ้ว โรงงานบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง และสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบผสม
หลักการทำงาน
ระบบทำงานโดยใช้การกลั่นด้วยอากาศแบบไครโอเจนิก อากาศที่ป้อนผ่านการกรองหลายขั้นตอนและการบีบอัดความร้อน-ก่อนที่จะเข้าสู่หน่วยกรองตะแกรงโมเลกุลหรือแบบย้อนกลับได้- โดยที่ H₂O, CO₂ และไฮโดรคาร์บอนจะถูกกำจัดออกไป อากาศบริสุทธิ์จะถูกทำให้เย็นลงเรื่อยๆ จนถึงประมาณ -170 องศา ถึง -196 องศาภายในคอลัมน์การแยกส่วน โดยที่ออกซิเจนและไนโตรเจนจะถูกแยกออกจากกันตามความแตกต่างของจุดเดือด (ออกซิเจน: -183 องศา , ไนโตรเจน: -196 องศา ) โดยผ่านการแก้ไขอย่างต่อเนื่องในการบรรจุแบบมีโครงสร้าง ไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูงจะถูกดึงมาจากด้านบนของคอลัมน์ ในขณะที่ก๊าซเสียที่อุดมด้วยออกซิเจนจะถูกระบายหรือนำกลับคืนที่ด้านล่าง เทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์แบบวงจรปิดให้ความสามารถในการทำความเย็น เมื่อเริ่มต้นแล้ว ระบบจะทำงานอย่างต่อเนื่องโดยใช้ไฟฟ้าและน้ำหล่อเย็นเพียงอย่างเดียว โดยไม่มีการสลายตัวของตัวดูดซับหรือความกังวลเรื่องการเปลี่ยนเป็นระยะ
ข้อมูลจำเพาะด้านประสิทธิภาพ
| พารามิเตอร์ | พิสัย |
|---|---|
| ความบริสุทธิ์ของไนโตรเจน | 99.9995% ~ 99.9999% (O₂ น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 ppm, CO₂ น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.1 ppm) |
| อัตราการไหล (Nm³/h) | 50 ~ 3,000 ต่อคอลัมน์ (ขยายแบบขนานได้) |
| ความดันการนำส่ง (MPaG) | 0.4 ~ 1.0 (ปรับได้) |
| จุดน้ำค้าง ( องศา ) | น้อยกว่าหรือเท่ากับ -70 (ที่ความดันบรรยากาศ) |
| เวลาเริ่มต้น- (เย็น) | น้อยกว่าหรือเท่ากับ 60 นาที |
| อัตราส่วนการเปิดเตียง | ต่อเนื่อง 50% ~ 110% |
การใช้พลังงานโดยทั่วไป (ที่ 1,000 Nm³/h, 0.6 MPaG):
- กำลังไฟฟ้าเฉพาะ: 0.28 ~ 0.32 kWh/Nm³
- น้ำหล่อเย็น: ประมาณ. 45 ตัน/ชม. (Δt=8 องศา )
- อากาศในเครื่องมือ: น้อยกว่าหรือเท่ากับ 5 Nm³/h
เมื่อเปรียบเทียบกับการกำหนดค่าสองคอลัมน์-แบบทั่วไป ระบบนี้ใช้พลังงานต่อหน่วยลดลงประมาณ 8%–12% ผ่านทางเทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์บูสเตอร์ประสิทธิภาพสูง- และคอลัมน์ภายในที่ได้รับการปรับปรุง
ข้อมูลทางเทคนิค (รุ่นทั่วไป)
| รายการ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| แบบอย่าง | เอสซีจี-1000 |
| เอาท์พุทไนโตรเจน | 1,000 นิวตันเมตร/ชม |
| ความบริสุทธิ์ | 99.9995% |
| แรงดันใช้งาน | 0.6 เมกะพาสคัล |
| อุณหภูมิการปล่อยไนโตรเจน | สภาพแวดล้อม (+5 องศา ~ +35 องศา ) |
| อุณหภูมิโดยรอบ พิสัย | 5 องศา ~ 45 องศา |
| แหล่งจ่ายไฟ | 380V/50Hz/3P |
| การบริโภคอากาศป้อน | 4,200 นิวตันเมตร/ชม. @ 0.7 MPaG |
| ความต้องการน้ำหล่อเย็น | 45 ตัน/ชม. (ทางเข้า 32 องศา, ทางออก 40 องศา) |
| กำลังติดตั้ง | ประมาณ. 320 กิโลวัตต์ |
| ขนาดลื่นไถล (L×W×H) | 12m × 4.5m × 5.8m |
| น้ำหนักลื่นไถล | ประมาณ. 28 ตัน |
ค่าต่างๆ จะขึ้นอยู่กับเงื่อนไขการออกแบบมาตรฐาน ตัวเลขที่แท้จริงอาจแตกต่างกันไปตามความสูงของสถานที่ อุณหภูมิโดยรอบ และสภาพสาธารณูปโภคเฉพาะ
การใช้งาน
ระบบนี้ได้รับการออกแบบสำหรับสภาพแวดล้อมของกระบวนการ-ที่ต่อเนื่องซึ่งกำหนดขีดจำกัดที่เข้มงวดเกี่ยวกับการปนเปื้อนที่เป็นก๊าซ:
- การผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้ว / 8 นิ้ว – การไล่และก๊าซพาหะสำหรับการแพร่กระจาย CVD การกัด และการฝังไอออน
- บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง (การกระแทก, TSV) – การควบคุมบรรยากาศในเตาอบแบบรีโฟลว์เพื่อลดการเกิดออกซิเดชันของบัดกรี
- สารกึ่งตัวนำแบบผสม (SiC, GaN) – ก๊าซพาหะและก๊าซเจือจางในระหว่างการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว
- การทำภาพพิมพ์หินและหน้ากาก- – ไล่ก๊าซสำหรับเส้นทางแสงยูวี-ที่ลึกเพื่อป้องกันการดูดซับออกซิเจนจากการเปลี่ยนพลังงานการสัมผัส
- ทางเลือกปั๊มน้ำมันปริมาณมาก – ทำหน้าที่เป็นหน่วยหลักของ-ลานเติมน้ำมันในไซต์งาน แทนที่การส่งไนโตรเจนเหลวหรือธนาคารถังแรงดันสูง-
การรับรอง ขอบเขตการจัดส่ง และการปรับแต่ง
- รหัสการออกแบบ: ASME VIII-1 / GB/T 150, HG/T 3186 สำหรับภาชนะรับความดัน ท่อต่อ B31.3
- พื้นที่ไฟฟ้าและพื้นที่อันตราย: ใช้งานได้ตามมาตรฐาน Class I Div 2 หรือ ATEX Zone 2; ระบบควบคุมที่มีความซ้ำซ้อน SIL 2
- ตัวเลือกการจัดส่ง: ชุดติดตั้งแบบลื่นไถลทั้งหมด- (กล่องเย็น เทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์ เครื่องฟอก และชุดควบคุมก่อน-ประกอบบนฐานเหล็ก) หรือ-ส่วนประกอบที่จัดส่งแบบหลวมสำหรับไซต์ที่มีข้อจำกัดในการยก
- Customization: Column height and heat exchanger surface can be adjusted for high-altitude (>1,500 ม.) หรือสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง- น้ำค้างพิเศษ-จุดหรือร่องรอย-ขีดจำกัดของสิ่งเจือปนสามารถปรับให้เหมาะสมได้โดยใช้วงจรการกลั่นที่ออกแบบโดยเฉพาะ
- ชุดเอกสารประกอบ: P&ID, แบบร่างการจัดการทั่วไป, แผนผังไฟฟ้า, คู่มือการปฏิบัติงานและการบำรุงรักษา, สรุป HAZOP, โปรโตคอล FAT/SAT และรายงานการทดสอบ
การสนับสนุนและหลังการขาย-
- การตรวจสอบระยะไกล: เกตเวย์ IoT มาตรฐานพร้อมการเชื่อมต่อ Modbus TCP ไปยังโรงงาน DCS หรือ SCADA การสำรองข้อมูลบนคลาวด์ (เป็นทางเลือกบน-เซิร์ฟเวอร์ในสถานที่)
- ชิ้นส่วนอะไหล่: ชุดอะไหล่อายุการใช้งาน 3 ถึง 5 ปี ซึ่งครอบคลุมถึงตลับลูกปืนเทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์ ตะแกรงโมเลกุล และซีลวาล์ว ที่จัดส่งควบคู่ไปกับอุปกรณ์หลัก
- การบริการภาคสนาม: การควบคุมดูแลการติดตั้ง การเริ่มต้น-และการทดสอบการใช้งาน การฝึกอบรมผู้ปฏิบัติงาน (ห้องเรียน + การปฏิบัติจริง-) และการตรวจสอบประสิทธิภาพประจำปี
- การรับประกัน: 12 เดือนนับจากการยอมรับระบบที่สมบูรณ์ ส่วนประกอบปลายเย็น-ของเทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์ขยายออกไปเป็น 24 เดือน
Shenger Gas นำความสามารถภายใน-การผลิตไนโตรเจนแบบแช่แข็งมาใช้อย่างเต็มรูปแบบ-ตั้งแต่การจำลองกระบวนการกลั่นและการคำนวณไฮดรอลิกภายในคอลัมน์ไปจนถึงการวิเคราะห์ความเครียดของกล่องเย็น- ซึ่งทั้งหมดนี้เสร็จสิ้นโดยทีมวิศวกรของเราเอง ทุกหน่วยผ่านการทดสอบประสิทธิภาพโหลดเต็ม-ก่อนจัดส่ง สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ เรามีอินเทอร์เฟซเพิ่มเติมสำหรับ-การตรวจสอบอนุภาคในสายการผลิตและการติดตาม-การรวมการวิเคราะห์สิ่งเจือปน เพื่อให้มั่นใจว่าคุณภาพไนโตรเจนยังคงสามารถตรวจสอบย้อนกลับและตรวจสอบได้ตลอดการผลิต สำหรับการสนทนาเพิ่มเติมเกี่ยวกับเกรดความบริสุทธิ์เฉพาะ ความผันผวนของการไหล หรือข้อจำกัดของโครงร่างไซต์ กลุ่มวิศวกรรมเทคนิคของเราพร้อมให้คำปรึกษา
ป้ายกำกับยอดนิยม: เซมิคอนดักเตอร์-การสร้างไนโตรเจนแบบไครโอเจนิกเกรด ผู้ผลิตจีนเซมิคอนดักเตอร์-เกรดไนโตรเจนแบบไครโอเจนิก ซัพพลายเออร์ โรงงาน
คุณอาจชอบ
ส่งคำถาม