หน่วยไนโตรเจนแยกอากาศแบบไครโอเจนิกสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์
ในเซมิคอนดักเตอร์ บรรจุภัณฑ์ชิป แผง LCD และแผงเซลล์แสงอาทิตย์ ความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนจะกำหนดผลผลิตของผลิตภัณฑ์โดยตรง -โซลูชันที่ได้รับการยอมรับในอุตสาหกรรมไม่ใช่ PSA มาตรฐานหรือเครื่องแยกเมมเบรน - แต่เป็นหน่วยแยกไนโตรเจนในอากาศแบบแช่แข็งสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ระบบประเภทนี้ให้ความบริสุทธิ์ที่เสถียรถึง 99.9995%+ แม้กระทั่งสิ่งเจือปนในระดับ PPB- ก็ตาม พบกับสภาพแวดล้อมที่ปราศจากออกซิเจน-ที่รุนแรงที่สุดในการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
หลักการทำงาน: การแยกทางกายภาพตามความแตกต่างของจุดเดือด - ไม่มีความเสี่ยงทางเคมี
ตรรกะเบื้องหลังการแยกอากาศด้วยความเย็นนั้นตรงไปตรงมา: อากาศถูกอัด ทำให้เย็นก่อน{0} และทำให้บริสุทธิ์ (เอาน้ำ CO₂ ไฮโดรคาร์บอนออก) จากนั้นถูกส่งไปยังคอลัมน์การกลั่น การใช้จุดเดือดที่แตกต่างกันระหว่างไนโตรเจน (-196 องศา ) และออกซิเจน (-183 องศา ) กระบวนการจะระเหยและควบแน่นซ้ำๆ ที่ -170 องศาถึง -196 องศา เพื่อสกัดไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง นี่เป็นทางกายภาพล้วนๆ ไม่มีปฏิกิริยาเคมี ไม่มีสิ่งเจือปนเพิ่มเติม นั่นเป็นสิ่งสำคัญสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ หน่วยไนโตรเจนแบบแยกอากาศแบบแช่แข็งสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สามารถรักษาจุดน้ำค้างให้ต่ำกว่า -70 องศาและมีปริมาณออกซิเจนต่ำกว่า 1ppm ได้นานหลายปี
ตารางข้อมูลจำเพาะด่วน (อ้างอิงจากโรงงานอิเล็กทรอนิกส์ทั่วไปขนาด 1,000Nm³/h)
| พารามิเตอร์ | พิสัย | บันทึก |
|---|---|---|
| ความบริสุทธิ์ของไนโตรเจน | 99.9995% ~ 99.9999% | O₂ ตกค้าง น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.5ppm สามารถเลือกตัวกรองได้ถึงระดับ PPB |
| อัตราการไหล | 100 ~ 10,000 นิวตันเมตร/ชม | การออกแบบโมดูลาร์ สามารถขยายแบบขนานได้ |
| อุณหภูมิขาออก | สภาพแวดล้อม (น้อยกว่าหรือเท่ากับ 40 องศา) หรืออุณหภูมิต่ำ-N₂ที่กำหนดเอง | ไนโตรเจนเหลวต่ำถึง -196 องศา |
| การใช้พลังงาน | 0.18 ~ 0.25 กิโลวัตต์ชั่วโมง/นิวตันเมตร | รวมคอมเพรสเซอร์ + ตัวขยาย + การสูญเสียความเย็น |
| เวลาเริ่มต้น- | Hot Start น้อยกว่าหรือเท่ากับ 24 ชม. สแตนด์บายขณะเย็น น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 ชม | ระบบสำรอง N₂ ของเหลวเสริม |
| แรงดันใช้งาน | 0.4 ~ 1.0 MPa (ปรับได้) | จับคู่ความกดดันในสายการผลิตที่แตกต่างกัน |
เหตุใดการใช้พลังงานจึงมีความสำคัญในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์
โรงงานอิเล็กทรอนิกส์ใช้ไนโตรเจนทุกวันตลอด 24 ชั่วโมง ดังนั้นการใช้พลังงานจึงขับเคลื่อน TCO (ต้นทุนรวมในการเป็นเจ้าของ) ระบบไครโอเจนิกแบบดั้งเดิมทำงานที่ประมาณ 0.35 kWh/Nm³ หน่วยไนโตรเจนแยกอากาศแบบไครโอเจนิกที่ได้รับการปรับปรุงประสิทธิภาพสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์จะมีค่าต่ำกว่า 0.2 kWh/Nm³ ที่ 1,000Nm³/h เป็นเวลา 8,000 ชั่วโมง/ปี ซึ่งช่วยประหยัดพลังงานได้ประมาณ 1.2 ล้าน kWh ต่อปี สิ่งสำคัญ: ประสิทธิภาพของบูสเตอร์เทอร์โบเอ็กซ์แพนเดอร์ ความหนาแน่นของครีบอะลูมิเนียมตัวแลกเปลี่ยนความร้อนหลัก และการกระจายการบรรจุแบบมีโครงสร้าง ข้อมูลภาคสนามของเราแสดงให้เห็นว่าการเพิ่ม-ระบบกรองตะแกรงโมเลกุลประสิทธิภาพสูงบวกกับ-ตัวจ่ายที่มีความต้านทานต่ำจะช่วยลดพลังงานลงอีก 8-12%
พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด (ช่วงเต็ม 50-5,000Nm³/h)
- สื่อการทำงาน: อากาศบริสุทธิ์ ({0}}ได้รับ CO₂ ก่อน<1ppm)
- ประเภทคอลัมน์: สเตจเดี่ยว- / สเตจคู่- (เกรดอิเล็กทรอนิกส์แนะนำให้ใช้คอลัมน์คู่-หรือมีส่วนปอก)
- อัตราการฟื้นตัวของไนโตรเจน: 55% ~ 78% (ขึ้นอยู่กับความต้องการความบริสุทธิ์)
- วิธีการทำความเย็น: น้ำหล่อเย็นหรืออากาศ-ระบายความร้อน (สำหรับพื้นที่ขาดแคลนน้ำ-)
- การควบคุมไฟฟ้า: PLC อัตโนมัติเต็มรูปแบบ รองรับการตรวจสอบระยะไกลและการส่งออกข้อมูล
- ระบบสำรองด้านความปลอดภัย: เครื่องวิเคราะห์ออกซิเจนคู่ + อินเตอร์ล็อคแรงดัน + วาล์วระบายอากาศฉุกเฉิน
- วัสดุ: ท่อภายในเสา 304/316L, ท่อขัดเงาด้วยไฟฟ้าเกรด EP- (อุปกรณ์เสริม)
การใช้งานทางอุตสาหกรรมทั่วไป (ไม่ใช่แค่ Fabs)
- SMT Reflow การบัดกรี: ป้องกันการเกิดออกซิเดชันของแผ่น - ต้องการความบริสุทธิ์มากกว่าหรือเท่ากับ 99.99%
- การเจริญเติบโตของ Epitaxy LED: ต้องใช้ MOCVD<1ppm H₂O and O₂
- วัสดุแคโทดแบตเตอรี่ลิเธียม: สภาพแวดล้อมที่ไม่มีน้ำป้องกันการเกิด HF
- โลหะผสมผง / การพิมพ์ 3 มิติ: ป้องกันการระเบิดของผงโลหะและป้องกัน-การเกิดออกซิเดชัน
- เครื่องแยกไอโซเลเตอร์ทางเภสัชกรรม: การหมักแบบไม่ใช้ออกซิเจนหรือการป้องกันแบบปลอดเชื้อด้วยO₂<5%
ในบรรดาผลิตภัณฑ์เหล่านี้ โรงงานเวเฟอร์ขนาด 8 นิ้วขึ้นไปมีข้อกำหนดที่เข้มงวดที่สุด: อนุภาค<0.01/ft³, metals <1ppb in nitrogen. Standard nitrogen generators can't hit that. You must use a cryogenic air separation nitrogen unit for electronics industry plus downstream catalytic deoxidation and cryogenic purifier.
ความสามารถในการปรับแต่ง: จากอุปกรณ์ไปจนถึงเกาะแก๊ส
เราไม่ขายกล่องมาตรฐาน Shenger Gas นำเสนอโซลูชันการสร้างก๊าซที่ไซต์งาน-:
- ระดับความบริสุทธิ์ที่เป็นตัวเลือก: 99.9% อุตสาหกรรม / 99.999% อิเล็กทรอนิกส์ / 99.9995% พิเศษ- มีความบริสุทธิ์สูง
- บูรณาการการสำรองข้อมูล Liquid N₂: N₂ ของเหลวที่ระเหยโดยอัตโนมัติ- จะเสริมเครือข่ายในระหว่างการบำรุงรักษาหรือมีความต้องการสูงสุด
- การนำไนโตรเจนของเสียกลับมาใช้ใหม่: สำหรับจุดความบริสุทธิ์ต่ำ- (เช่น ความเฉื่อยของคลังสินค้า) นำ N₂ ที่ระบายอากาศกลับคืนมา และปรับความดันอีกครั้งเพื่อใช้ครั้งที่สอง
- โหมดอัตโนมัติ: เชื่อมต่อกับข้อมูลความบริสุทธิ์ การไหล และพลังงานตามเวลาจริงของ MES - กระแสข้อมูลพลังงานด้วย-รายงานที่สร้างขึ้นโดยอัตโนมัติ
ขอบเขตการบริการ: ตั้งแต่การส่งมอบจนถึงการดำเนินงาน 10 ปี
- ขั้นตอนการออกแบบ: การสำรวจไซต์งาน + การวิเคราะห์กราฟปริมาณการใช้ก๊าซ (การใช้งานเป็นระยะๆ จำเป็นต้องมีถังบัฟเฟอร์หรือไม่)
- ระยะเวลาในการติดตั้ง: การจัดส่งแบบลื่นไถล- เฉพาะการเชื่อมต่อด้านสาธารณูปโภคบนไซต์ - การผลิต- พร้อมภายใน 30 วัน
- หลัง-การตอบกลับของการขาย: 4 ชั่วโมงในสามเหลี่ยมปากแม่น้ำแยงซี ภายในประเทศจีน 24 ชั่วโมง ครอบคลุมต่างประเทศผ่านพันธมิตรที่ได้รับอนุญาต
- กลยุทธ์ด้านอะไหล่: ตะแกรงโมเลกุล ซีลวาล์ว ตลับกรองใช้รุ่นทั่วไป - ไม่มีชิ้นส่วนที่มีราคาแพงเกินไป
ป้ายกำกับยอดนิยม: หน่วยไนโตรเจนแยกอากาศแบบแช่แข็งสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ประเทศจีนหน่วยไนโตรเจนแยกอากาศแบบแช่แข็งสำหรับผู้ผลิตในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ซัพพลายเออร์ โรงงาน
คุณอาจชอบ
ส่งคำถาม