เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED

เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED

ในการผลิตชิป LED โดยทั่วไปจะใช้ไนโตรเจนเป็นตัวพาและก๊าซป้องกันในระหว่างการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว MOCVD หากความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนไม่สอดคล้องกันหรือมีออกซิเจนและความชื้นเล็กน้อย แผ่นเวเฟอร์อีปิแอกเซียลสามารถออกซิไดซ์ได้โดยตรง ซึ่งส่งผลต่อผลผลิตของเศษ เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED ได้รับการออกแบบให้เป็นโซลูชันก๊าซที่ไซต์งาน-โดยเฉพาะสำหรับข้อกำหนดของกระบวนการนี้
ส่งคำถาม
คุยตอนนี้
การแนะนำสินค้า

ในการผลิตชิป LED โดยทั่วไปจะใช้ไนโตรเจนเป็นตัวพาและก๊าซป้องกันในระหว่างการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว MOCVD หากความบริสุทธิ์ของไนโตรเจนไม่สอดคล้องกันหรือมีออกซิเจนและความชื้นเล็กน้อย แผ่นเวเฟอร์อีปิแอกเซียลสามารถออกซิไดซ์ได้โดยตรง ซึ่งส่งผลต่อผลผลิตของเศษ เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED ได้รับการออกแบบให้เป็นโซลูชันก๊าซที่ไซต์งาน-โดยเฉพาะสำหรับข้อกำหนดของกระบวนการนี้

 

หลักการทำงานและลอจิกการออกแบบ

เครื่องทำงานด้วยเทคโนโลยี PSA (Pressure Swing Adsorption) ตะแกรงโมเลกุลคาร์บอนแยกออกซิเจนออกจากไนโตรเจนภายใต้แรงกดดันที่แตกต่างกัน ทำให้เกิดไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง-โดยตรงจากอากาศอัด เมื่อเปรียบเทียบกับการจ่ายไนโตรเจนเหลว การสร้างไซต์งาน-จะหลีกเลี่ยงความผันผวนของความบริสุทธิ์และการหยุดชะงักของการจัดหาที่เกิดจากการขนส่งหรือการเปลี่ยนกระบอกสูบ-

สำหรับสายการผลิต LED จำเป็นต้องมีโมดูลการทำให้บริสุทธิ์เพิ่มเติม ทำให้ไนโตรเจนมีความบริสุทธิ์สูงกว่า 99.9995% และรักษาจุดน้ำค้างให้คงที่ต่ำกว่า -70 องศา นี่คือคุณลักษณะทางเทคนิคที่สำคัญที่ทำให้เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED แตกต่างจากเครื่องกำเนิดไนโตรเจนมาตรฐานทางอุตสาหกรรม

 

ตารางอ้างอิงประสิทธิภาพ

พารามิเตอร์

พิสัย

ความบริสุทธิ์ของไนโตรเจน

95% – 99.9995% (มากกว่าหรือเท่ากับ 99.9995% ทั่วไปสำหรับ LED)

อัตราการไหล

1 – 500 Nm³/h (ปรับได้)

จุดน้ำค้างในบรรยากาศ

น้อยกว่าหรือเท่ากับ -70 องศา

แรงดันขาออก

4 – 8 บาร์ (ปรับได้)

อุณหภูมิในการทำงาน

5 องศา – 45 องศา

การใช้พลังงาน

น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.25 kWh/Nm³ (อิงจากความบริสุทธิ์ 99.99%)

 

การใช้พลังงานและต้นทุนการดำเนินงาน

การผลิต LED ทำงานอย่างต่อเนื่อง ดังนั้นการใช้พลังงานจึงเป็นข้อกังวลระยะยาว-สำหรับผู้ซื้อ ที่ความบริสุทธิ์ 99.99% หน่วยจะใช้ระหว่าง 0.18 ถึง 0.25 kWh ต่อ Nm³ เมื่อจับคู่กับระบบควบคุมการประหยัดพลังงาน-และเครื่องอัดอากาศความเร็วตัวแปร- หน่วยนี้สามารถลดโหลดได้โดยอัตโนมัติในช่วงที่มีความต้องการ-ต่ำ ซึ่งจะทำให้การใช้ไฟฟ้าลดลงอีก

 

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคและการส่งมอบโครงการ

หน่วยนี้ใช้โครงสร้างที่ติดตั้งแบบกันลื่นแบบโมดูลาร์-โดยมีขนาดเล็ก เหมาะสำหรับพื้นที่สาธารณูปโภคที่สะอาดในโรงงาน ส่วนประกอบสำคัญได้แก่:

  • ระบบดูดซับ PSA แบบทาวเวอร์คู่-
  • จุดน้ำค้างออนไลน์และความบริสุทธิ์สูง-ที่มีความแม่นยำสูง
  • การสลับอัตโนมัติ-และการแจ้งเตือนข้อผิดพลาด
  • ท่อแก๊สสแตนเลสและตู้กันฝุ่น

เครื่องกำเนิดไนโตรเจนมาตรฐานสำหรับการส่งมอบการผลิตชิป LED ประกอบด้วย: หน่วยหลักเครื่องกำเนิดไนโตรเจน เครื่องกรอง แผงควบคุม วาล์วและข้อต่อ และคู่มือการใช้งาน โดยทั่วไประยะเวลาดำเนินการคือ 30 ถึง 45 วันทำการ มีคำแนะนำในการติดตั้งไซต์และการสนับสนุนการทดสอบการใช้งานที่-

 

การรับรองและมาตรฐานคุณภาพ

การออกแบบและการผลิตดังต่อไปนี้:

  • ISO 9001:2015
  • ASME / GB150 (ขึ้นอยู่กับความต้องการของลูกค้า)
  • การรับรอง CE (ไม่จำเป็น)
  • รหัสความปลอดภัยของภาชนะรับความดัน

ทุกยูนิตผ่านการทดสอบการรั่ว การทดสอบประสิทธิภาพการดูดซับ และการตรวจสอบการทำงานอย่างต่อเนื่องก่อนออกจากโรงงาน

 

การใช้งานทางอุตสาหกรรมและสถานการณ์ทั่วไป

เราไม่ได้ระบุชื่อลูกค้าโดยเฉพาะ แต่อุปกรณ์นี้มีการใช้กันอย่างแพร่หลายใน:

  • โรงงานผลิตเวเฟอร์ LED epitaxial
  • สายการผลิตสารกึ่งตัวนำแบบผสม
  • ระบบสนับสนุนก๊าซพิเศษแบบอิเล็กทรอนิกส์

ความคิดเห็นของลูกค้าโดยทั่วไปชี้ไปที่ผลผลิตไนโตรเจนที่เสถียร ประสิทธิภาพของจุดน้ำค้างที่สม่ำเสมอ และช่วงการบำรุงรักษาที่ยาวนาน ในสายการผลิตชิป LED มูลค่าที่แท้จริงของเครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED ไม่ได้เกี่ยวกับการลดต้นทุนไนโตรเจน แต่เกี่ยวกับการปกป้องผลผลิตและรับประกันการทำงานที่ต่อเนื่อง

 

ความสามารถในการจัดส่งและการปรับแต่งโครงการ

เราสนับสนุนการปรับแต่งตาม:

  • อัตราการไหลและความบริสุทธิ์ (1 – 500 Nm³/h)
  • สภาพไซต์งาน (อุณหภูมิสูง ความชื้นสูง พื้นที่ห้องปลอดเชื้อ)
  • ตรรกะการควบคุม (แบรนด์ PLC, โปรโตคอลการสื่อสาร)
  • แพ็คเกจอะไหล่และข้อตกลงการบริการระยะยาว-

ขั้นตอนการจัดส่ง: การยืนยันทางเทคนิค → การอนุมัติการวาด → การผลิต → การทดสอบภายใน- → การบรรจุและการจัดส่ง → การทดสอบการใช้งานที่ไซต์

 

Shenger Gas มุ่งเน้นไปที่การสร้างไนโตรเจน PSA และการแยกเมมเบรน โดยให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ เคมีภัณฑ์ โลหะวิทยา และอุตสาหกรรมอื่นๆ ในการผลิตชิป LED เราปฏิบัติตามกฎง่ายๆ: ความเข้าใจกระบวนการมาก่อนการขายอุปกรณ์ ทุกโครงการได้รับการจัดการโดยวิศวกรด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์ด้านการสนับสนุนเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED ที่จัดหาโดย Shenger Gas ทำงานอย่างต่อเนื่องในสายการผลิต LED หลายสายในประเทศจีนมานานกว่าสามปี โดยไม่มีความผิดปกติของกระบวนการที่เกิดจากปัญหาคุณภาพไนโตรเจน

สำหรับคำแนะนำในการเลือกหรือเอกสารข้อมูลทางเทคนิคโดยละเอียด โปรดติดต่อฝ่ายสนับสนุนด้านเทคนิคโดยตรง

 

01

02

03

04

05

06

ป้ายกำกับยอดนิยม: เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับการผลิตชิป LED เครื่องกำเนิดไนโตรเจนสำหรับผู้ผลิตชิป LED ซัพพลายเออร์ โรงงาน

ส่งคำถาม

หน้าหลัก

โทรศัพท์

อีเมล

สอบถาม